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MLCC製造プロセスの一貫性制御:テープキャスティング(流延塗布)から内部電極印刷までの精密測定ソリューション(2)

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二、ダブルフレーム追跡方案:実際に必要なのは純塗布量
キャスティングコーティングにはよくある課題がある。面密度計で測定されるのは、PET基材+コート層の総面密度ですが、基材自体の厚さの変動が測定結果に影響を与えてしまう。
解決方法はダブルフレームX線面密度追跡測定システムを用いること。第1台X線面密度計でPET基材の面密度を測定し、第2台で基材を含む総面密度を測定します。2つ機械の走査軌跡は同一点で位置合わせして追跡され──第2台は第1台の走査軌跡に厳密に追従して測定を行う。
両者の測定値を引き算することで、純コート層の面密度を得ることができ、基材の厚さ変動による影響は完全に除去される。
このシステムの最大の技術的難点は、「同一点での位置合わせ追跡」の精度である。もし2つの機械が同じ物理的位置を測定できなければ、基材とコート層の空間的なずれによって新たな誤差が生じる。

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